盘装质量流量控制器MPC9500/0002/0005/0020使用说明书

概　要

本机是小型、轻量的面向一般工业装置用的质量流量控制器。搭载本公司独立开发的超高速响应感热式流量传感器 -μFTM(microflowTM)，与超小型比例电磁阀、新型流路、高级驱动控制技术结合，可安装在仪表盘前面。

安装

• 安装场所

请勿把本机安装在下述场所。

•高温、低温、高湿度、低湿度的场所

•温度急剧变化、容易结露的场所

•充满腐蚀性气体、可燃性气体的场所

•环境中含大量尘埃、盐分、铁粉等导电性物质、水滴、油雾、有机溶剂等场所

•本体受直接振动、冲击的场所

•阳光直射、风雨吹淋的场所

•油、药品等飞沫存在的场所

•电磁干扰源附近的场所

•强电磁、强电产生的场所