MCS100质量流量传感器产品手册

型号MCS100是一款小型轻便、高速响应的质量流量传感器，内部搭载有出货量达数百万台的的MEMS传感器。

热式MEMS传感器搭配低压力损失的流路，能实现以5ms的高速响应测量10L/min以下的气体质量流量。