高精度位置检测传感器产品手册

目前现有的传感器容易忽略微小和高速的变化。

K1G系列能够检测到这些遗漏的变化，实现可视化。

实现的分辨率（0.1μm）

通过阿自倍尔的利用菲涅耳衍射现象的 FDN 运算方法和超解像技术实现了检测分辨率（0.1μm）和重复精度（1μm）的检测水平。