蓝宝石隔膜真空计SPG系列产品规格书

概　要

蓝宝石隔膜真空计SPG系列采用了蓝宝石静电容量式压力传感器、是具有高精度、高可靠性、高耐腐蚀性的小型・轻量的隔膜真空计。主要用于半导体工艺流程。

特　长

•采样高耐腐蚀性、高耐热性的单晶体蓝宝石

感压部材料采用具有高耐腐蚀性、高耐热性、机械特性优异的单晶体蓝宝石，通过静电容量检测方式，即使在高温检测环境下也可实现高的检测重复性。

•检测误差小

采用的信号处理技术、实现了温度特性、直线性等误差小的检测。

•小型／轻量的本体

通过采用的显微机械加工技术形成的蓝宝石传感器、实现了大幅度的小型／轻量化。

•简单的零点调整功能

通过Auto零点调整开关或Up/Down零点调整开关，可简单地进行零点调整。

•机器状态显示

通过LED显示，可一目了然地判断产品的状态（正常、预热中、异常）。

•迅速启动和稳定的温度控制

通过采用了微处理器的数字PID运算对加热器进行温度控制、实现了迅速启动和稳定的温度控制。

•智能编程器软件包对应

智能编程器软件包对应（另售 SLP-SP5J70）可方便地进行监视和参数的读写。

•符合CE

符合IEC指令、符合CE标识。（适合规格：EN61326、EN55011）